項目名稱：北京懷柔實驗室 2023年第二批科研設備采購項目

項目編號：1495-234thhrlab02/03

(資料圖)

招標范圍：產品名稱：聚焦離子束電子束雙束顯微鏡 數量：1臺 簡要技術規格：聚焦離子束電子束雙束顯微鏡(FIB-SEM)是一種半導體檢測設備，具體規格如下： 1)用于晶圓上各項工藝后的形貌觀察及納米級檢測(SEM)，電子束束流滿足Min.小于等于1pA； 2)用于實現對樣品進行離子束切割加工功能(FIB)，離子束束流滿足Min.小于等于1pA； 3)用于實現三維形貌觀察分析； 4)用于實現電路修復； 5)用于實現EDS及EBIC功能； 6)適用于6英寸及以下晶圓。

招標機構：天恒招標有限公司

招標人：北京懷柔實驗室

開標時間：2023-06-08 09:30

公示時間：2023-06-12 18:18 - 2023-06-15 23:59

中標結果公告時間：2023-06-16 11:08

中標人：恒裕通有限公司

制造商：Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o/Bruker Nano GmbH/point electronic GmbH

制造商國家或地區：捷克

關鍵詞：